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爱德华干式真空泵介绍1
爱德华干式真空泵介绍(应用于新能源行业晶体太阳能电池制造行业)

 		 
    IH 干泵 
  • 晶体太阳能电池制造中苛刻工艺应用（例如LPCVD，PECVD）的**选择
  • 具有优异的粉尘处理能力，冷凝物更少
  • 功耗更低，占用空间更小，零维护
  • 抽气能力范围：51-589立方英尺/分钟（86-1800立方米/小时）
 
     GV干泵（常见型号：爱德华GV250、GV160、GV600） 
  • **的粉尘和颗粒处理能力，气路短，分级压缩，能效高
  • 必要时可以与机械增压泵系列中任何一种组合使用，将抽气速率提升至2425立方英尺/分钟（4200立方米/小时），并获得更低的真空度。
  • 多级罗茨和/或爪式机构使真空度达到0.023托（0.03毫巴）
  • 多级罗茨和/或爪式机构组合，抽气速率范围：47-330立方英尺/分钟（80-560立方米/小时）
  • 应用范围：拉晶、层压和PECVD（作为iH系列的代替品，这应当是**选择）
     
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