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爱德华干式真空泵介绍1
爱德华干式真空泵介绍(应用于新能源行业晶体太阳能电池制造行业)
IH 干泵
晶体太阳能电池制造中苛刻工艺应用(例如LPCVD,PECVD)的极佳选择
具有优异的粉尘处理能力,冷凝物更少
功耗更低,占用空间更小,零维护
抽气能力范围:51-589立方英尺/分钟(86-1800立方米/小时)
GV干泵(常见型号:爱德华GV250、GV160、GV600)
极佳的粉尘和颗粒处理能力,气路短,分级压缩,能效高
必要时可以与机械增压泵系列中任何一种组合使用,将抽气速率提升至2425立方英尺/分钟(4200立方米/小时),并获得更低的真空度。
多级罗茨和/或爪式机构使真空度达到0.023托(0.03毫巴)
多级罗茨和/或爪式机构组合,抽气速率范围:47-330立方英尺/分钟
(80-560立方米/小时)
应用范围:拉晶、层压和PECVD(作为iH系列的代替品,这应当是第一选择)
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